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기계연, 바이오센서 미세 가공장비 국산화
- 기사입력
- 2021-08-17 오전 08:05
- 최종수정
- 2021-08-17 오전 08:05
- 조회수
- 1048
기계연구원이
종이 위에 가는 펜으로
그림을 그리는 것처럼
레이저를 이용해
400 나노미터 간격으로
기판을 가공할 수 있는
리소그래피 장비를
국산화하는데 성공했습니다.
이 장비는 바이오센서나 의료용 소자,
마이크로 광학 소자 등을 만드는데 필수적인
장비로 생산 공정의 경제성을 높이는데
큰 도움을 줄 것으로 기대됩니다.
TJB 대전방송
종이 위에 가는 펜으로
그림을 그리는 것처럼
레이저를 이용해
400 나노미터 간격으로
기판을 가공할 수 있는
리소그래피 장비를
국산화하는데 성공했습니다.
이 장비는 바이오센서나 의료용 소자,
마이크로 광학 소자 등을 만드는데 필수적인
장비로 생산 공정의 경제성을 높이는데
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